Desenvolvimento do Processo de Limpeza por Plasma

Fernanda Splett; Marcio Mafra; Carlos Eduardo Farias; Euclides Alexandre Bernardelli; Thierry Belmonte

doi:10.20906/CPS/SICITE2015-0550

Resumo

DESENVOLVIMENTO DO PROCESSO DE LIMPEZA POR PLASMA Fernanda Splett1, Carlos Eduardo Farias1, Euclides Alexandre Bernardelli1, Thierry Belmonte2, Márcio Mafra1 1UTFPR - Curitiba - Brasil 2IJL - Nancy - França Resumo - A limpeza é uma etapa muito importante para o sucesso em tratamentos superficiais, uma vez que eles são sensíveis à presença de contaminantes. No plasma fenômenos físicos e reações químicas com espécies ativas levam à degradação de compostos orgânicos, produzindo outros que são eliminados pelo fluxo de gás [1-3]. Nesse trabalho, um estudo foi feito para avaliar a influência da pressão na transformação de ácido esteárico tratado em plasma. As amostras eram tratadas durante 30 min, com potência de 50 W, frequência de 13,56 MHz e mistura gasosa de 90%Ar+10%O2. As temperaturas e as variações de massa foram medidas e foram feitas difrações de Raios-X (DRX) e espectroscopias do infravermelho (FTIR) nas amostras. As curvas de temperatura dos tratamentos realizados a 0,6 e a 1,0 Torr são aproximadamente iguais. Entretanto, a evolução da temperatura para os tratamentos a 0,2 Torr mostrou valores mais baixos. A maior perda de massa ocorreu para 0,2 Torr, e nestes tratamentos as amostras mantiveram-se sólidas. Para 0,6 torr algumas apresentaram fase líquida e para 1,0 Torr todas apresentaram. As análises de DRX mostraram que há fase amorfa depois do tratamento e que há estrutura monoclínica e ortorrômbica, que podem estar relacionadas com os picos da ligação OH [4]. O espectro feito por FTIR mostrou um alargamento da banda de 1735 a 1750 cm-1, com aumento de intensidade dos picos de ésteres para o aumento de pressão, indicando que ocorreu funcionalização. Referencias [1]C. E. Farias, et al., Mat. Res., São Carlos, v.17, n. 5, 2014. [2]M. Mafra, et al., Plasma Chem. Plasma Proc., v. 28, ed. 4, p. 495-509, 2008. [3]E. A. Bernardelli, et al., Plasma Chem. Plasma Proc., v. 31, ed. 1, p. 205-215, 2010. [4] H. J. Ensikat, et al., Chem. Phys. Lipids 144, 45-59, 2006.

Palavras-chave: Plasma RF; Ácido Esteárico; Pressão; Degradação